石英坩堝尺寸大小的確立
發(fā)布日期:2017-02-15 11:53 來源:http://m.jgehuv.cn 點擊:
石英坩堝尺寸大?。ɑ蛉莘e大?。┑拇_定取決于晶體生長的直徑和長度,同時還要考慮拉晶工藝中對堝、晶直徑比的要求。一般竭、晶直徑比以3:1為佳。今天我們石英加工廠家就來詳細的為您介紹一下石英儀器大小尺寸的確立吧!
1、其理由是它與熔液直接接觸,熔硅與石英坩堝的sio:反應生成sio后,它同時向熔體內(nèi)部擴散和向熔體表面揮發(fā)。
最后有一部分到達固一液界面附近,混入到正在生長的晶體中去,從而使單晶體中的氧含量增高。低溫水槽采取較大的渦、晶直徑比,將有利于氧的大量揮發(fā)。
2、因此當拉制直徑為8 0mrn、長度為7. 000mm硅單晶時,我們確定增渦的直徑為中224mm,高度為190mm.根據(jù)石英的機械性質(zhì)川:抗壓強度為8004一8500 (WC kg/cm2),抗拆強度為710一1040(200C kg/cm‘),石英坩堝抗彎強度為700一1100 (200C kg/cml),抗扭強度為304一600 (20cc kg/cml),為此,我們選擇柑im的厚度為4mm,這樣就能承受住12Kg以上的Si料。
3、同時為了使單晶生長到達底部時,仍能保持其原有的竭、晶直徑比(3:I)和盡量減少坩堝中剩料,以提高單晶的成品率和回收率,為此確定使用平底柑塌。
1、其理由是它與熔液直接接觸,熔硅與石英坩堝的sio:反應生成sio后,它同時向熔體內(nèi)部擴散和向熔體表面揮發(fā)。
最后有一部分到達固一液界面附近,混入到正在生長的晶體中去,從而使單晶體中的氧含量增高。低溫水槽采取較大的渦、晶直徑比,將有利于氧的大量揮發(fā)。
2、因此當拉制直徑為8 0mrn、長度為7. 000mm硅單晶時,我們確定增渦的直徑為中224mm,高度為190mm.根據(jù)石英的機械性質(zhì)川:抗壓強度為8004一8500 (WC kg/cm2),抗拆強度為710一1040(200C kg/cm‘),石英坩堝抗彎強度為700一1100 (200C kg/cml),抗扭強度為304一600 (20cc kg/cml),為此,我們選擇柑im的厚度為4mm,這樣就能承受住12Kg以上的Si料。
3、同時為了使單晶生長到達底部時,仍能保持其原有的竭、晶直徑比(3:I)和盡量減少坩堝中剩料,以提高單晶的成品率和回收率,為此確定使用平底柑塌。